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 由羅茨泵(或雙羅茨)與滑閥泵串聯組成。與單臺滑閥泵相比，具有真空度高、高真空區抽氣量大、節能效果顯著、占地面積小、可自動化操作等優點。根據被抽真空系統的大小及極限壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4:1至10:1之間，前者較后者適用于較大真空系統及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。
廣泛應用于電力工業的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥；航空模擬試驗較理想的真空設備。